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真空清洗爐品種多，對真空系統的要求不一樣。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系統。下面介紹幾種常用的真空系統。
1．低真空系統
它適用于真空度在1333～2Pa范圍的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵的系統。
2．中真空系統
它適用于真空度在1.333～3×10Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統在真空熱處理爐中應用最廣泛，其通常有兩級真空泵機組組成。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵。
3．高真空系統
它適用于真空度在1.333×1O～6．6×10Pa范圍的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐。其通常有三級真空泵機組組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，前級泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵。
真空系統的基本參數
真空熱處理爐的真空系統主要參數有極限真空度、工作真空度、抽氣時間、抽氣速率、漏氣率(壓升率)。
極限真空度真空爐在空爐、冷態下所能達到的最高真空度稱為極限真空度。極限真空度是考核真空爐各零部件的加工和裝配質量、真空機組的抽氣能力與極限真空、爐體的密封與漏氣和真空衛生情況的重要指標。通常，真空爐的極限真空度應低于主泵一個數量級左右。
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